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啟迪專精特新丨國產(chǎn)首臺！金竟科技電子束曝光機(jī)獲北京市重大技術(shù)裝備認(rèn)證打印

發(fā)布時(shí)間：2025-10-21來源：金竟科技

近日，啟迪投資企業(yè)——北京金竟科技有限責(zé)任公司自主研發(fā)的Pharos 310電子束曝光機(jī)正式獲得北京市首臺（套）重大技術(shù)裝備認(rèn)證，標(biāo)志著該產(chǎn)品成為經(jīng)官方權(quán)威認(rèn)證的首款國產(chǎn)商業(yè)化電子束曝光設(shè)備。此次獲得首臺（套）認(rèn)證，不僅是對金竟科技技術(shù)實(shí)力的高度認(rèn)可，也是我國在高端科學(xué)儀器領(lǐng)域自主創(chuàng)新能力的有力證明。

 

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電子束曝光機(jī)又稱電子束光刻機(jī)，廣泛應(yīng)用于微納米加工、半導(dǎo)體器件制備等國家戰(zhàn)略相關(guān)領(lǐng)域。此前，我國在該領(lǐng)域長期依賴進(jìn)口，并屢遭禁運(yùn)，嚴(yán)重制約了科技事業(yè)發(fā)展。金竟科技推出的Pharos系列電子束曝光機(jī)打破了這一局面，為解決該領(lǐng)域“卡脖子”困境提供了關(guān)鍵支撐。